在当前的芯片制造工艺领域,EUV光刻机无疑是一道难以跨越的门槛,任何芯片企业都无法回避这一核心设备的重要性。
EUV光刻机之所以关键,是因为它能够制造5nm及以下的芯片。若要实现这一尺度芯片的大规模生产,EUV技术不可或缺。佳能虽然声称其NIL设备能制造5nm芯片,但尚未经过大规模生产的验证。
全球范围内,仅有ASML一家公司能够制造EUV光刻机。
相比之下,中国的光刻机技术目前仍处于第4代,即ArF光刻机阶段,属于干式DUV光刻机,距离浸润式光刻机还有一代的差距,距离EUV技术更是相差两代。
因此,有人多次指出,国产光刻机与ASML相比,存在20年的差距。ASML在2003年就制造出了第一代浸润式光刻机,至今已有20年。我们需要努力研发EUV技术,否则将面临技术不足的困境。
然而,ASML的成功并非仅凭技术实力,还依赖于诸多外部条件、机遇以及供应链的整合能力。
实际上,EUV光刻机的制造不仅仅是技术挑战,更涉及复杂的供应链问题。
EUV光刻机极为复杂,全球有5000多家供应商,共计45万多套零件,这些“套”指的是已经经过一定整合的零件。实际上,这些零件还可以进一步拆分,最小单位计算的话,零件数量超过300万个。
ASML的最大能力并非从零开始研发EUV光刻机。实际上,EUV光刻机的原型是由美国研发的。但因其复杂性和高昂的成本,美国最终选择放弃,并将技术交给了ASML。
随后,intel、三星、台积电等公司入股ASML,共同推动EUV光刻机技术的发展。
ASML在获得技术后,与intel等晶圆厂合作进行验证,并携手蔡司等供应链伙伴,经过多年的研究,最终成功制造出了EUV光刻机。
ASML的核心能力在于整合全球供应链,让5000多家厂商共同合作,组装出EUV光刻机。
例如,intel购买ASML的EUV光刻机时,ASML使用了250个货箱进行运输,并派遣了250名工程师进行安装,整个安装过程耗时180天,足见其复杂性。
ASML的成功是经过10多年的摸索和努力取得的。因此,中国目前无法制造出EUV光刻机,实际上,除了ASML之外,全球其他国家也无法做到这一点。
而且,从目前的市场情况来看,全球也只能有一家EUV光刻机厂商,因为市场容量有限,多家厂商共存将导致供过于求,对整个行业都不利。
EUV光刻机的制造不仅是一项技术挑战,更是对全球供应链整合能力的考验。ASML的成功并非一蹴而就,而是多年努力和摸索的结果。